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Class 100 Clean Ovens

一、设备用途:
Class100 洁净烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、TP、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

二、产品特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)
4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到*温度控制精度。

三．无尘高温试验箱,洁净烘箱,无尘烤箱,百级无尘烘箱,Class100 洁净烘箱,百级无尘烤箱,100级洁净烤箱产品技术参数：

1.主要技术指标：
无尘等级：Class 100;温度范围：RT+20～+300℃；
温度均匀度：200℃±4℃;温度波动度：±0.5℃（空载）
温控精度：±0.1℃;工作尺寸：W800×D600×H1300
电源：380v , 50Hz，15KW网板：2块（高度可调节)

洁净度100级的洁净热处理
HEPA高效过滤器与前出风型水平层流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。zui小限度控制风速距离。
M计装可编程控制
1模式20步骤，最多可做10个模式。温度上升·下降斜率设定程序的重复次数在1-999次间设定。
简单操作的标准计装
标准配置定值运行模式以及自动启动·自动停止等可设定动作的程序运行。标准配置温度过升防止器。

设备型号	温度范围	内容积	其它参数	内尺寸 （W×D×Hmm）	外尺寸 （W×D×Hmm）
EVC150	(RT+60)～+200℃	150L	洁净度：100级	500×500×600	770×1100×1,350
EVC360	(RT+60)～+200℃	320L	洁净度：100级	600×600×900	770×1025×1850
EVC640	(RT+60)～+200℃	640L	洁净度：100级	800×800×1000	1,030×1100×1850
EVCH150	(RT+60)～+350℃	150L	洁净度：100级	500×500×600	770×1100×1,350
EVCH360	(RT+60)～+350℃	360L	洁净度：100级	600×600×900	770×1025×1850
EVCH640	(RT+60)～+350℃	640L	洁净度：100级	800×800×1000	1,030×1100×1850

2、箱体结构：
烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成，结构合理，外观美观大方；
箱体材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉丝不锈钢，并经碱性苏打水清洁，可防止微尘；
内胆材料：采用优质SUS304，2.0mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；
中桶材料：采用优质SUS304，2.0mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。

3、温控系统：
采用日本“神港”温度控制器，控制器LED数字显示及设定、PID自 动演算、薄膜设定，精确度±0.3%FS。；
讯号来源：采用PT100热电阻±0.5%。
输出被控制组件：SSR无接点讯号输出。

4、完善的安全保护措施：
漏电断路器、 控制线路保险丝装置、 超温防止保护装置、 电热过电流保护装置、
马达过电流保护、 机台异常蜂鸣器警示 逆向防止器、 门面安全开关

5、选购设备(需另外收费)：
可程式温控器 无纸记录仪 三色指示灯 烘烤架

注:无尘等级和尺寸可根据要求定制。