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点击次数：817 更新时间：2020-07-24
Class100 洁净烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、TP、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
产品特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：3"φ(附自动启闭风门)
4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到*温度控制精度。
设备简介：
1、箱体结构：
烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成，结构合理，外观美观大方；
箱体材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉丝不锈钢，并经碱性苏打水清洁，可防止微尘；
内胆材料：采用优质SUS304，2.0mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；
中桶材料：采用优质SUS304，2.0mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。
2、温控系统：
采用日本“神港”温度控制器，控制器LED数字显示及设定、PID自 动演算、薄膜设定，准确度±0.3%FS。
讯号来源：采用PT100热电阻±0.5%。
输出被控制组件：SSR无接点讯号输出。
3、完善的安全保护措施：
漏电断路器、控制线路保险丝装置、超温防止保护装置、电热过电流保护装置、马达过电流保护、机台异常蜂鸣器警示 逆向防止器、门面安全开关
4、选购设备：
可程式温控器 无纸记录仪 三色指示灯 烘烤架
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